Trước đó, theo Quyết định số 621/QĐ-TTg ngày 23/5/2008, Thủ tướng Chính phủ đã phê duyệt điều chỉnh quy hoạch chung xây dựng tỷ lệ 1/5000 Khu Công nghệ cao Hòa Lạc. Phạm vi quy hoạch Khu Công nghệ cao là 1.586 ha.
Khu Công nghệ cao mang dáng dấp của một "đô thị công nghệ cao" với 10 khu chức năng gồm các khu liên quan đến công nghệ cao và các khu về nhà ở, văn phòng, chung cư, giải trí, thể dục thể thao.
Khu Công nghiệp công nghệ cao chiếm diện tích lớn nhất (549,5 ha hay khoảng 35%). Đây là nơi tập trung các nhà máy sản xuất sản phẩm công nghệ cao. Sau đó đến khu nghiên cứu và triển khai (229 ha, 14,4%), với chức năng chuyên nghiên cứu, triển khai ứng dụng công nghệ cao đồng thời đào tạo các chuyên gia công nghệ.
Dân số trong Khu Công nghệ cao sẽ tăng mạnh, từ khoảng 11.100 người hiện nay lên 143.500 người (năm 2015), 229.000 người (năm 2020).
